上海隧道烘干炉_隧道烘干炉_蜀诚机电

半导体连续隧道炉烘干线的温度控制

(一)概述

半导体器件需在连续隧道炉烘干线上进行烘干，隧道烘干炉，炉内温度必须按一定要求变化，即有升温、保温、降温过程。所以，隧道炉烘干线的温度控制是很重要的。

(二)系统组成和控制原理

这是一个连续的生产过程。隧道炉烘干线分成7个区，分别装有加热器。需要烘干的半导体路件技时间要求顺序从*1区运行到*7区(例如根据工艺要确定1， 2区为升温区，3，嘉兴隧道烘干炉， 4， 5区为保温区，常州隧道烘干炉，6，上海隧道烘干炉， 7区为降温风)。温度控制系统由热电偶、调节器、调压器和加热器组成，以控制各区的温度，满足产品的要求，达到节能的目的。

如果控温仪表的温度传感器布置在真空室内，玻璃棒温度计的温度值与仪表的温度读数之间的差异可以适当缩小，但不可能消除，而真空室的密封可靠性增加了一个可能不可靠环节。如果从操作实用角度考虑不希望看到这个差异，可以采用控温仪表特有的显示修正功能解决。

一般的电热(鼓风)干燥箱均设有温度均匀度参数:自然对流式的干燥箱为工作温度上限乘3%，强制对流式的干燥箱为工作温度上限乘2.5%。惟*电热真空干燥箱不设温度均匀度参数，这是为什么?真空干燥箱内依靠气体分子运动使工作室温度达到均匀的可能性几乎已经没有了。因此，从概念上我们就不能再把通常电热(鼓风)干燥箱所规定的温度均匀度定义用到真空干燥箱上来。在真空状态下设这个指标也是没有意义的。热辐射的量与距离的平方成反比。